Q 235

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，600W
•腔体    ：石英.φ235mm，长260mm

           适用于Wafer最大200mm（8英寸）小批生产及实验

•外观尺寸：长460mm，宽590mm，高550mm
•处理气体：2路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗  ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 7"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输