AL 76 Compact
典型应用：等离子清洗中的全能型产品，可满足大多数应用。适合大批量生产和实验室使用。• 改善Die Bonding• 改善Wire Bonding• 改善锡球焊接• 改善倒装底部填充（FC Underfill）• 改善塑封（Molding）/封胶
技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体 ：铝.长400mm，宽400mm，深490mm，76L
•外观尺寸：长1050mm，宽800mm，高2020mm（含信号灯塔）
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：铰链门/抽屉式双功能+观察窗
•观察窗 ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•旋转台-φ350mm，旋转速度可调
•ECR机构
•包装，运输
